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工場

クリーンルーム内での作業や取扱・管理業務には、スケール・用途に応じた資格とされることがある。

その上、これらのほかにも不活性ガスの窒素、アルゴン等も用いられ、すべてのガス類がすべて低温の液体として保存されるため、高圧ガスの取り扱いについての注意が必要である。

特に半導体プロセスでは、具材ガスとして常温常圧で自然発火するシラン、ホスフィンのほか、水素、高純度酸素等が用いられるため、火災・爆発には注意が不可欠である。

他に洗浄工程、加工プロセスで強酸、強アルカリを使用するので、これらも注意が不可欠である。

局所排気装置